三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)和高精度測(cè)長(zhǎng)機(jī)等一些精密測(cè)量設(shè)備，很多都會(huì)采用氣浮裝置作為測(cè)量平臺(tái)。因?yàn)楦邏簹怏w通過(guò)空氣軸承中細(xì)小的氣眼進(jìn)入工作面與導(dǎo)軌面之間，會(huì)形成均勻的氣隙，因?yàn)閷?dǎo)軌間沒(méi)有摩擦和磨損，就可以保持長(zhǎng)期的性能均勻性。空氣軸承的正常工作氣隙在3-10um之間。因此在壓力正常的條件下，保證壓縮空氣的純凈度及導(dǎo)軌面的平面度是空氣軸承正常工作的關(guān)鍵。

空氣軸承國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)

要保證空氣軸承正常穩(wěn)定的工作，壓縮空氣必須符合ISO 8573-1標(biāo)準(zhǔn)，即含水體積質(zhì)量為6g/m3，含油體積質(zhì)量為05g/m3，微粒粒徑<15 um，體積質(zhì)量為8g/m3。

氣源的日常保養(yǎng)

為保障測(cè)量?jī)x器的正常運(yùn)行，空氣壓縮機(jī)輸送出的壓縮空氣溫度要保持在40~80 ℃之間，所以建議安裝冷凝設(shè)備，否則高溫氣體在管道內(nèi)冷凝，會(huì)形成大量的冷凝水，勢(shì)必將腐蝕管道，產(chǎn)生鐵銹。所以建議對(duì)壓縮空氣的管線按照一定方式進(jìn)行布置。

選用的冷凍干燥機(jī)應(yīng)該具備10℃或更低的露點(diǎn)溫度，以防壓縮空氣噴射到導(dǎo)軌面產(chǎn)生冷凝水。管路內(nèi)應(yīng)該設(shè)置排水口，用于排除冷凝水和油。安裝完供氣管線后，在與過(guò)濾器連接之前，務(wù)必打開(kāi)與冷凍干燥機(jī)連接的球閥，用高壓氣體直接清除管線內(nèi)的雜質(zhì)。

空氣過(guò)濾器裝置后面的管線禁止采用金屬管線，以防銹跡污染，最好采用柔性管線連接，并且盡量縮短長(zhǎng)度，以減少管線中的壓降。

定期維護(hù)：每天用干凈綢布擦拭，由內(nèi)向外擦拭氣浮導(dǎo)軌的工作區(qū)域，拖動(dòng)測(cè)量機(jī)的各移動(dòng)軸，檢查運(yùn)動(dòng)是否正常；每天要手工排除過(guò)濾器及排水口的油、水混合物，并檢查過(guò)濾器流量指示器是否工作正常，如果壓降超出規(guī)定的要求，則必須更換濾芯；經(jīng)常用吸塵器清理機(jī)臺(tái)表面（防塵罩外表面）及工作環(huán)境，檢查壓力表示值是否正常。